기업부설연구소








연구소 소개

 

 2012년 기업 부설 연구소 설립

 2012년 12월 법인 기업 부설 연구소 전환

 

 

전략

 

 고객 요구에 부합되는 연구 개발

 급변하는 시장 정세를 반영한 기술력 확보

 기업의 경영 전략이 부합된 연구 개발


연구개발 실적

 

지적재산 현황

 출  원등  록

국내

19건

12건

 해외

2건 

2건 

 

 

특허 현황

 특  허현  황등 록  번 호국  가

정전척의 리페어 방법

등록

제10-1******

한국

정전척

등록

제10-1******

한국

정전척

 등록 

제10-1******

한국

 정전척 및 이의 리페어 방법

등록

제10-1******

한국

정전 척 리페어 방법

등록

제10-1****** 

 한국 

 정전 척 및 리페어 방법

등록

제10-1****** 

 한국 

 정전 척 및 리페어 방법

등록

제10-1****** 

 한국 

 정전척 리페어 방법

등록

제10-2****** 

한국

 정전척의 에지링

등록

제10-2******

 한국

 Electrostatic Chuck and Repair Method thereof

등록

I 6***** 

대만 

 정전척

등록

제10-2****** 

한국 

 정전척 및 그 수리방법

등록

 제10-2******

한국 

 정전척 테스트 장치

 등록

제10-2****** 

한국 

 ESC 및 수리방법

 등록

ZL 2017 1 0****** 

중국 

 

 

 


연구장비.설비

 ULTRASONIC TEST SYSTEM
Ceramic Plate의 결함 또는 이상 유무와 Bonding상태를 판단하는 설비




 ROUGHNESS MEASURING INSTRUMENT
표면 거칠기 측정 / 표면 형상 측정







 HEATING TEST SYSTEM
Heater가 포함된 ESC의 열형상을 검사 하기 위한 설비




 ESC TEST MACHINE
반도체 제조 설비와 유사한 조건에서 ESC의 성능을 Test 하기 위한 설비